• 投稿

【公开课】微纳加工 - 瑞士联邦理工学院（洛桑联邦理工学院/EPFLx）-（Micro and Nanofabrication(MEMS)，英文授课，英文字幕）

2.2万
27
2020-03-01 09:41:08
273
83
1556
175
https://www.edx.org/course/micro-and-nanofabrication-mems 微纳加工（Micro and Nanofabrication-MEMS，英文授课及字幕）- 瑞士联邦理工学院/EPFLx Learn the fundamentals of microfabrication and nanofabrication by using the most effective techniques in a cleanroom environment.
学习
工艺
公开课
MEMS工艺
微电子
线上课堂
微纳加工
edx
MEMS
瑞士联邦理工学院
微电子与纳电子学 发消息
www.bilibili.com/read/cv9038294 关于“微电子与纳电子学”的使用说明及版权声明
视频选集
（41/64）
1.0 Teaser
03:20
1.1.1 Successful MEMS products：accelerometer
08:57
1.1.2 Successful MEMS products：microphone
04:43
1.1.3 Successful MEMS products：BAW
09:50
1.2 Case study：thermo-mechanical micro-actuator
14:53
1.3.1 Cleanroom basics：introducing the issue of contamination
13:11
1.3.2 Cleanroom basics：cleanroom strategy
05:57
2.1.1 Basic principles of CVD and CVD reactors
14:16
2.1.2 CVD techniques at different operating pressure, plasma-enhanced CVD and me
12:10
2.1.3 Atomic layer CVD (ALD) and thermal oxidation of silicon
08:40
2.2.1 Theoretical concepts of gas flow in CVD reactors
09:30
2.2.2 CVD thin film growth model
12:43
2.3.1 Specific CVD processes for silicon-based materials and diamond
15:28
2.3.2 Thermal oxidation processes of silicon and ALD deposition of specific oxid
12:13
3.1.1 Thermal evaporation：introduction and vapor creation
12:34
3.1.2 Thermal evaporation：film formation and examples
10:33
3.1.3 Thermal evaporation in CMi
03:28
3.2.1 Sputtering：introduction and plasma formation
08:23
3.2.2 Sputtering：spatial zones and Paschen law
06:23
3.2.3 Sputtering：DC, RF, magnetron
09:58
3.2.4 Sputtering：ion target interactions
06:27
3.2.5 Sputtering：film growth and control parameters
08:19
3.2.6 Sputtering：examples
11:41
3.2.7 Sputtering in CMi
02:43
3.3 SUPPLEMENTARY Other PVD methods
19:42
3.4.1 Film growth：atoms arrival and adhesion
06:49
3.4.2 Film growth：stress in thin films
09:16
3.4.3 SUPPLEMENTARY Film growth：growth modes and crystal structure
10:45
4.1.1 Introduction to lithography
06:41
4.1.2 Resist properties and exposure methods
12:23
4.1.3 SUPPLEMENTARY Photoresist sensitivity and modulation transfer function
04:07
4.2.1 UV lithography：direct writing and mask writing
11:22
4.2.2 UV lithography in CMi：mask fabrication
03:50
4.2.3 UV lithography：mask based lithography
09:34
4.2.4 UV lithography in CMi：mask based lithography
03:03
4.3.1 Electron beam lithography：tool overview
10:20
4.3.2 Electron beam lithography：electron optics and beam deflection
05:08
4.3.3 SUPPLEMENTARY Electron beam lithography：tool overview II
05:28
4.3.4 SUPPLEMENTARY Electron beam lithography：design preparation and fracture
13:26
4.3.5 Electron beam lithography：electron-sample interactions
10:01
4.3.6 Electron beam lithography：resists
05:54
4.3.7 SUPPLEMENTARY Electron beam lithography：proximity effect
09:07
4.4.1 Alternative patterning methods：scanning probe lithography
07:51
4.4.2 SUPPLEMENTARY Alternative patterning methods：replication methods
16:18
5.1.1 Dry etching in a gas plasma：etching anisotropy
16:15
5.1.2 Deep dry etching of silicon; dry etching without a plasma
15:42
5.2 Theoretical concepts of plasma generation
13:13
5.3.1 Types of dry etching equipment and plasma sources
16:52
5.3.2 Ion beam etching
07:26
5.4.1 Examples of etching processes for Si-based materials
22:19
5.4.2 Examples of etching processes for organic films and metals
12:34
6.0 Anisotropic and isotropic wet etching of Si and applications
14:46
6.1 HF bath for SiO2 and glass wet etching
12:28
6.2.1 Isotropic wet etching of silicon in the HNA bath
19:21
6.2.2 Anisotropic wet etching of silicon in alkaline baths
18:04
6.3.1 Etch stop techniques for thin membrane microfabrication and bulk micromach
13:49
6.3.2 Supercritical drying for realization of suspended structures; test microst
12:33
7.1.1 Optical microscopy：inspection and dimension measurement
09:49
7.1.2 Optical thin film thickness measurement
07:07
7.1.3 Optical surface profile measurement
09:28
7.2 Mechanical surface profile measurement
09:06
7.3.1 Scanning electron microscopy
10:46
7.3.2 Focused ion beam：local cross sectional inspection and measurement
06:46
7.4 Electrical characterization
07:34

麻省理工学院：制造工艺基础 | Fundamentals of Manufacturing Processes
常春藤中英字幕课
2.3万 3

加州理工：模拟电路设计 | Analog Circuit Design
常春藤中英字幕课
5.7万 16

【公开课】微电子器件 - 电子科技大学（半导体器件物理）
微电子与纳电子学
36.9万 1379

【公开课】集成电路工程（基于Silvaco TCAD，台湾大学，積體電路工程/集成电路工艺）
微电子与纳电子学
8.5万 404

【公开课】薄膜物理与技术 - 电子科技大学
微电子与纳电子学
12.0万 240

加州理工：电路与系统 | Circuit s and Systems
常春藤中英字幕课
4.4万 4

麻省理工：化学原理（含课件）
常春藤中英字幕课
4.3万 23

【公开课】加州理工学院 - 新模拟电路设计（New Analog Circuit Design，双字，Caltech）
微电子与纳电子学
14.7万 586

【公开课】麻省理工学院 - 电路与电子学1：基础电路分析（Circuits and Electronics 1: Basic Circuit Analys）
微电子与纳电子学
11.6万 145

普渡大学: 半导体基础 | Foundations of semiconductors
常春藤中英字幕课
2.7万 1

【公开课】COMSOL 系列视频教程
微电子与纳电子学
10.5万 351

麻省理工：电和磁（含课件） | MIT封神课程
常春藤中英字幕课
16.0万 86

麻省理工：电子电力学 | MIT 6.622 Power Electronics, Spring 2023
常春藤中英字幕课
3.6万 5

【半导体】目前B站最全最细的半导体工艺全套教程。从头到尾带你彻底了解芯片半导体工艺！包含半导体工艺流程介绍、IC芯片、氧化、沉积工艺、CMP等等及封装工艺圈流程
老白说机械
44.7万 191

【公开课】沈阳工业大学 - 功率半导体器件
微电子与纳电子学
7.6万 176

【公开课】施敏 - 半导体元件物理 - 台湾交通大学（半导体器件物理/半导体物理与器件）
微电子与纳电子学
17.2万 651

【中配】微观机械的奇妙世界
AI译片君
2.6万 18

【公开课】半导体器件物理II - 西安电子科技大学微电子学院
微电子与纳电子学
11.1万 547

加州理工学院【中英⚡电路与系统|EE44, Circuits and Systems】
常青藤中英字幕课程
2.8万 42

超详细了解半导体的基本原理与制造工艺，3D动画讲解解开你的疑惑
钛科普工程学习
12.0万 136
展开
Twinkle-twinkle！新的演出马上开始！
客服
顶部
赛事库 课堂 2021拜年纪