揭秘半导体设备:磁控溅射阴极靶的设计、加工、组装与测试

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2023-01-10 13:36:05
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展示半导体制造用磁控溅射阴极平面靶的设计、加工、组装、测试过程,其中测试包括氦检、高电压、水压密封与磁场扫描。
荟萃前沿永磁科技应用潮流,展望永磁科技工程发展趋势 www.aicshanghai.com
半导体设备
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简介
磁控溅射阴极靶的设计、加工、组装与测试
04:25
PVD磁控溅射工艺原理
03:44
磁控溅射工作原理动画介绍
04:05
磁控溅射技术简介
01:06
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