每 1000 亿个硅原子只许 1 个杂质:硅片是怎么做出来的

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2026-11-01 17:45:00
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一片做完 2 纳米工艺的晶圆,据报道要 3 万美元;它刚出厂时,只是一片一百美元左右、光秃秃的硅片。这一百美元里藏着三件极难的事:纯,原料要纯到 10 到 11 个 9;完美,整块晶体里没有一根位错;平,每块曝光区域里起伏只有几十纳米。这期跟着一片 300 毫米晶圆走完全程:石英石和电弧炉、三氯氢硅提纯、西门子法多晶硅、直拉单晶、切磨抛、清洗外延和检测。最后看看谁在做这片晶圆:五家公司占了九成以上,中国大陆在扩产,明年的合约价可能还要涨。
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