


分享一下个人知识点的总结
相信大家初次接触IC行业,不是一上手就是画版图,首先一定有一套学习资料甩给你,让你看个三五天,好一点的企业或有专业的培训团队提供教学视频和手把手带领;那最开始对于小白而言,或多或少会接触一些MOEFET的二级效应;那么就主要讲讲我对其中的体效应的个人理解和总结。
二级效应大概泛指Mosfet在实际工艺上带来的物理效应,在一定程度上影响着其工作性能;体效应又称为“偏衬效应”、“背栅效应”;是指Mosfet源极和衬底的电势差影响着其阈值电压的变化;理论上我们在分析MOSFET的工作原理时,会假定其源极和衬底短接,(大多数电路的MOSFET的衬底接最高或最低电位)再此基础上分析其阈值电压的定义;但实际上,电路存在较多源极和衬底电位不一致的情况,比如cascode,差分对等等;


那么在这种情况下,衬底是最低或最高的电位,以nmos为例,当Mosfet的源极电位大于衬底电位时,由源极和衬底构成的pn结反偏,耗尽层变宽,吸引衬底和沟道的自由电子,使得沟道的电子浓度降低,进而影响阈值电压。
在这里有个问题,漏极比源极电压更大才对,毕竟随着源漏电压的升高,漏极电压升高,漏极和衬底的耗尽层不断变宽,Mosfet达到饱和区,更容易吸引电子才对?
没错,漏极更容易吸引电子,那换个思路来理解呢,正常工作的nmos,一般是多子,即自由电子参与工作,并且电子是从源极流向漏极,(因为漏极电压更高,电子被吸引)如果其源极电位大于衬底电位,也在吸引电子,并且方向相反,那么一定程度上是削弱了电流Isd;那么需要增大阈值电压,才能维持原本的沟道的形成。
在这里需要扩展一下阈值电压的定义,在源极和衬底电位相等时,即Usb=0,其栅源电压增大到一定时,使沟道耗尽层出现反型,器件处于临界导通状态,那此时的栅压为阈值电压。Mosfet的反型层是指沟道耗尽层的载流子---电子浓度等于衬底的空穴浓度;反型层又分为强反型和弱反型,弱反型是指亚阈值效应的形成缘由,强反型是指沟道的电子浓度远大于衬底的空穴浓度,此时的沟道称为n沟道,(你可以把它当作n型半导体,此时源漏和沟道类似3块n型半导体连接在一起)。
所以,当源极电位大于衬底电位,源极吸引沟道的电子,一定程度上是在抑制强反型的形成,那么此时要填充沟道的自由电子的浓度,就需要从沟道的耗尽层以外的衬底吸引更多的电子,来维持沟道电子浓度,即需要增大阈值电压。
至于体效应称为“背栅效应”,是由于衬底属于低掺杂的高阻材料,在一定程度上形成和栅极一样的开关性质,即体效应的另一种情况,当衬底的电位变得更低时,也影响着阈值电压的增大。
比如当衬底接了更低的电位,或者MOSFET的衬底环离的很远引入了寄生电阻,存在压降,致使衬底电位变化,栅极和衬底压差变大,沟道的耗尽层变宽,载流子电子浓度降低,负离子增多,要维持强反型,需要增大阈值电压,吸引衬底的自由电子,但是负离子在一定程度上会排斥电子,需要继续增大阈值电压。

背栅mosfet是指在衬底下方制作了一层栅极材料,称为背栅,和正栅一起控制着器件的导通特性,通常背栅mosfet运用于高压电路,源于其优良的耐压能力。

对于高掺杂的衬底,更难反型,需要更多的沟道载流子才能平衡衬底载流子浓度,所以pmos比nmos的体效应更显著。