Klayout掩模版设计和微纳加工工艺简单说明

Klayout官网：http://www.klayout.de

Klayout简易教程：http://www.klayout.de/doc/manual/basic.html

https://nano.ustc.edu.cn/_upload/article/files/8b/b2/99663d4248d3a3c96236174f7fe4/c0ae6495-10e0-4ebb-9148-f200daa1092f.pdf

• 打开Klayout-File-New Layout-命名

• 创建图层：Edit-Layer-New Layer-命名

• 左下角标尺滚动鼠标可改变大小

• 设置画图精度：Edit-Editor Options-Grid（设置两点间最小间隔）

• 17:52 画矩形：Box 鼠标选中或Esc可从Box切换到Select

• 双击矩形，可设置参数

• 右下角可看到鼠标此时坐标

• 20:31 画多边形：Polygon单击是放置点，双击是最后一个点

• 双击可编辑

• 21:47 画路径：Path可设置宽度和端口形状。也是双击结束。

• 双击可编辑点坐标和端口形状等

• 23:33 绘制组合图形

• Add：图形简单叠加

• Merge：图形融合

• Erase：重合区域被擦除

• Mask：取交集

• Diff：重叠取消，不重叠取并

• 26:57 用Partial随意调整形状 选中顶点和线段拖动

• 30:29 Instance添加实例 比如画圆

• 可选Local和Basic库

• PCell可调节圆圈图层，点数，直径

• 引入的Instance不能直接看到，要调节视图层次（不调节的话只能看到cell这一层）

• 左下level从1调到2可看到画的圆

• 34:47 文字图形 Text

• 选中：框选

• Edit-Seletion-Convert to PCell将文字转化为图形

• 创建新图层：Edit-Layer-New Layer-命名，点击图层在该图层绘制

• 隐藏/显示图层：双击图层

• 删除某个图形：单击选中，Delete

• 42:32 编辑形状

• 复制粘贴：选中，Ctrl+C，Ctrl+V，Move工具可用于移动

• 旋转：选中，Edit-Selection-Rotate Clockwise/Counterclockwise

• 选中多个图形：按住shift选择，或者直接框选

• Merge画好的图形：Selection-Merge Shapes

• 从第一个图形中减去随后选中的图形：Selection-Subtraction-OthersFrom First

• 平移图形：Selection-Move By/Move To

• 缩放：Selection-Scale

• 51:42 创建阵列

• 已经创建好的device从local库里找，勾选Array Instance，设置行列数和行距列距

• 在device修改的参数在Array会统一改变，修改一个就相当于修改所有

• 删除阵列：选中，delete

• 删除阵列中特定器件：Selection-Resolve Arrays，这样能单独选中某个器件删除

• 消除cell的层次结构（从属关系）：Selection-Flatten Instance

• 复制cell：Shallow Copy，其子结构还是device；Deep Copy，其子结构也是新的

• 01:24:26 答疑