
1.MIS结构
在了解MOSFET之前,我们先了解一种较为简单的结构P-MIS(金属-绝缘层-p型半导体)
该结构仍遵循费米能级的一致性,即金属和硅的费米能级要相平,结构如图:

①在金属上加上负偏压,会在介质另一端硅的表面感应出带正电的空穴,表现在能带上就是能带向上弯曲,形成空穴的势阱,这一过程叫做多子积累
②不加电压时,半导体为中性区,不导电,叫做平带
③外加正的小电压时,感应出电子,表现在能带上是能带向下稍微弯曲,形成电子的势阱,表面处出现少量电子;随着正电压的增大,电子区的宽度越来越大,形成耗尽区,会有一个最大的距离。我们将这一过程称为弱反型过程。
④当正向电压很大时,耗尽区宽度恒定,少子从体区漂移进硅表面,此时表面电子总浓度已经与体区空穴总浓度相当,这一状态叫做强反型。能带图如下:

2.MOSFET的结构(以N沟道增强型MOSFET为例)

我们将MIS结构两端分别加上N型区,分别叫做源(source)、漏(drain)这样就形成了两个相互背靠着的PN结(NPN),再加上金属和氧化物组成的电容栅(gate)就叫做MOSFET器件。我们不难发现,不管横向加什么电压,总有一个PN结处于反向状态,器件都不会导通。现在请思考,怎么样才能使这个管子导通电流呢?
不错,正是给它的金属栅上加上正电压,在上面的MIS结构中,我们已经知道,加上正电压后,在硅表面会出现电子;感性认识:正负电荷相吸引,类似于电容板,P型硅中的少子电子都被吸引到表面层,构成一个电子沟道,那么源-沟道-漏就是一个完整的N型硅,在源漏加上电压,这个管子就能顺利导通了。
更进一步的,具体要在金属栅上加多大的电压,才能导通?这就引入了阈值电压的概念,感性上认识:在表面加足够大的正电压,感应出足够多的电子,就可以导通了;理性认识,我们定义MIS结构表面强反型时,器件完全导通,此时金属栅上加的电压叫做阈值电压,记作Vth(threshold—阈值的意思)
3.MOSFET的能带结构

其实就是一个MIS横向结构,半导体表面电子浓度为:

沟道的费米能级同高,因此,栅源势垒高度EB = ECch − Ef。可以求出势垒高度为:

横向的能带结构就可以看作:

其实我们可以把能带图类比于湖面:

栅极的作用是控制运河的高低,栅压越大,运河越低,湖S,D越容易导通;而源漏间的电压形成的电场就相当于湖S,D的液面差,液面差越大,液体流速越快;总的来说,栅极电压是开启沟道的条件,源漏的电压是电流大小的关键,但仍然被栅压所限制。
小结:MOSFET 实际上就是一个压控电阻,这个电阻处于源漏之间,可以通过控制栅压来控制沟道中载流子数目,进而控制沟道电导;栅压在氧化层中产生感生电场,影响半导体的能带结构。本小节我们认识了MIS结构和MOSFET结构的基本特点,需要认识到三端栅源漏各自的特点与作用,下一节我们深入学习MOSFET的电流模型和电路中的作用。