SEM-EDS分析测试时一种材料表面分析技术，融合了扫描电子显微镜（SEM）和能量分散谱仪（EDS）两种工具。它主要用于探测材料表面的形态特征和化学成分。今天我们主要讲一下EDS测试。

铄思百检测实验室扫描电镜设备

能量散射X射线光谱（EDS）是一种通过测量X射线的能量来确定样品中元素的种类和含量的技术。

能谱探头在蔡司扫描电镜中的位置示意图

在高能电子束激发样品原子时，原子内层电子会被激发出来，当外层电子填补这些空位时，会释放出特征X射线。通过探测器测量这些X射线的能量，可以确定样品中不同元素的种类和相对含量。

能级跃迁示意图

　蔡司电镜能谱操作步骤：

　1. 样品描述

保存项目后，自动创建样品1和区1，右击样品1可重命名。

　更换样品时，选择【+新样品】

2. 选择测试类型

软件左上角下拉键里选择点扫(point&ID)，线扫描和面扫 

　3. 扫描图像

确定测试类型后，点击【开始】

在同一样品的不同区域或同一样品相同区域做不同EDS测试时，先点【新区】，然后点【开始】传图像

注意：(1)传图像时电镜必须是扫描状态，不能为拍照freeze状态

       　(2)留意软件下方 输出计数率>1000时EDS数据才准确有效

           (3) EDS测试时，WD在8.5 mm左右效果较佳

4. 点扫

选择【采集图谱】，鼠标直接选择待测点或待测矩形区域，选区后软件会自动进行谱图测试

5. 元素确认

切换到确认元素界面，点击Auto ID，或手动选择元素，双击元素周期表中想选的元素，变绿则选上，如果不想要，再双击变红则去掉

6. 计算成分

切换到计算成分，点击【编辑列】，勾选【At%】,然后去掉定量结果表

7. 点扫数据输出

点击右上角【输出报告】，在对应reports文件夹保存word数据

铄思百小编提醒您如果测量结束后想自己重新绘制谱图，可以导出谱图原始数据。右击对应点的谱图空白处，找到【导出】，选择【EMSA】。SMSA导出的图谱的text格式文件

面扫(面分布图)

①先扫描图像，然后选择采集分布图数据，点击【开始】

②点击开始后，在构建分布图数据界面，可以确认元素(按第7步操作)，更换单个元素颜色，查看质量/原子百分比

③当面扫绿条过半时，在采集分布图数据界面单击停止，系统会扫描完这一编后停止;双击停止，系统会立刻停止面扫描。结合自身测试需求，选择扫描几遍。(一般3遍)

8. 面扫数据输出

(1)点击右上方的【输出报告】，在相应的reports文件夹里保存word文档

(2)切换到点扫界面，重复步骤【8】，然后点击右上方的【输出报告】，此报告有面扫区域的各个元素的平均质量百分比和原子百分比

(3) 如果想要单个元素的面扫图片，可以右击图片，找到导出，选择TIFF格式 

如果需要了解更多扫描电镜测试相关内容，可以联系武汉铄思百检测(www.sousepad.com)。

铄思百检测作为华中地区领先的第三方权威机构，与武汉众多高校及其分析测试中心有交流合作。包括SEM测试在内，TEM测试，BET测试，TG测试，DSC测试等都有丰富的经验，欢迎联系送样测试！检测咨询热线：15071040697    黄工QQ：82187958