DIC脱气膜关联产品eFLOW Series是控制超纯水电阻率值的装置

eFLOW Series是通过使用DIC自主开发的中空纤维透气膜补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。可得到防止因静电引起的 灰尘再次附着和基板图形的防 静电破坏的效果。

关于超纯水防静电装置

• 由于结构简单，故障少 • 采用独特的配管分配方式，易于控制电阻率值且稳定性优良 • 二氧化碳供气模组的寿命长（保证期限为5年，本公司制）

装置原理

通过调整用二氧化碳溶解模组（参照右上图）生成的二氧化碳饱和水和超纯水的混合比率，可调节超纯水的电阻率值。

CO2溶解原理

DIW在模组内的中空纤维膜内部流动。其间，从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW内。溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化，可使DIW具有导电性，消除静电。由于使用微细中空纤维膜束，可以有效获得二氧化碳溶解所需要的表面积。

2AP, 2AC／3AP, 3AC

1AP, 1AC

二氧化碳溶解模组（内部灌流）DIC制

eFLOW2, 3A*型装载有两个二氧化碳溶解模组。