气体传感器

XEN-5320通过测量微加工加热元件的温度升高来确定气体成分。对于每种二元气体混合物，温度升高与加热功率的比率取决于混合比。为了提高准确性，还对环境温度和湿度进行了修正。应用包括氢气和氦气实验、喷流和羽流中气体扩散速率的检测以及二元气体成分的测量。

货号：

XEN-5320-ALU-CAN

XEN-5320-ALU-USB

XEN-85030

XEN-5320-HP-CAN

XEN-5320-HP-USB-ANA

热量传感器

XEN-393和XEN-394系列微加工薄膜热量计传感器设计用于对小样本进行高温扫描速率的测量。XEN-393系列采用铝互连，因此其温度范围较低，而XEN-394系列采用金互连，具有更高的温度范围。

这些传感器具有单层或双层超薄氮化硅膜，具有较高的热阻和非常小的时间常数。这使得这些传感器特别适用于气体环境中的测量以及快速测量，如快速扫描量热法

货号：

XEN-39390

Gold 

XEN-393

XEN-394

导热传感器

XEN-3920 热导率计测量周围气体的热导率。基于气体热导率不同的原理，可用于测量二元混合气体或准二元混合气体中的气体浓度，其中组分气体的热导率不同。它还可以用作皮拉尼计，测量真空系统中的压力。

传感器芯片由一个硅边缘和两个氮化硅膜组成。每个膜的中心都有一个加热器，传感器元件用于测量其温度。芯片测量环境与膜中心之间的热导通量。

标准配置的XEN-3920包括一个TO-5封装的芯片、一个硅盖（覆盖芯片）以减少流动效应的影响，以及一个带过滤器的帽子焊接到TO-5外壳上。在芯片旁边是一个Pt100或Pt1000，用于测量环境温度。

货号：

XEN-3920