美国,Logosol,DIAMOND E5,真空电梯,晶圆处理机器人规格：

运动范围：13.267英寸（337mm）从硬止点到硬止点,13.188英寸（335mm）可用跨度，具有软件限制

最大速度：8英寸/秒

最大加速度：12英寸/秒²

轴重复精度：+/‐ 0.001英寸（0.025mm）

晶圆尺寸：2英寸（50mm）至12英寸（300mm）

载荷：25公斤（55.1磅）

重量：21公斤（46.5磅）

洁净度等级：Class 1

基础真空度：最高可达1x10‐9 Torr

泄漏率：< 1x10‐9 std.cc/sec He

工作温度：

真空侧：最高100ºC（212ºF）

大气侧：10ºC ‐ 40ºC（50ºF ‐ 104ºF）

电机类型：无刷，低惯性，高响应

编码器类型：增量式，10000脉冲/转（电机轴）

设施要求：

电压范围：100‐120 VAC，200‐240 VAC

控制接口：LDCN机器人从设备（可串联RS‐232接口）

通用数字I/O

可选：智能设备，RS‐232和以太网（Telnet）接口

暴露于真空的材料：铝、不锈钢、波纹管（AM‐350 SST退火）

安装配置：

可定制法兰（显示为200mm底部安装法兰）

带内置控制器和电源的机身尺寸：

（无需外部控制器）：8.70” x 7.98” x 22.05” （221mm x 203mm x 560mm）

美国,Logosol,DIAMOND E5,真空电梯,晶圆处理机器人尺寸和运动范围：

其他货号：

 LRC-x31g2

 LRC-x31g3

 Diamond H1 

 Diamond H3

 Diamond H4

 Diamond H5

Diamond E5