“光场 + 相位 + 远场” / 全面表征 / 简单易用
MetronLens 超构透镜光学检测系统 是一款面向超构透镜、超构表面、微透镜阵列等平面光学元件的专用光学检测系统。 该系统综合了显微成像技术、离轴数字全息技术以及远场成像技术等多种先进技术,可实现光场分布、相位分布和远场分布的原位检测,深刻揭示超构表面、超构透镜、微透镜阵列等平面光学元件的内在物理特性,为验证设计的准确性、制备加工工艺的优化提供了强有力的检测工具。

MetronLens 超构透镜光学检测系统
典型应用领域:
超构表面(Metasurface)——是一种由亚波长的微纳结构组成的平面结构,可以高自由度的对光波进行调控和操纵,因此超构表面的研究需要测量它所调控的光场分布和相位分布。
微透镜阵列(Microlens Array,MLA)——是由尺寸只有几十微米和数百微米的微型透镜构成的阵列,因此微透镜阵列的研究需要微米尺度的单透镜检测能力。
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)——是基于光的衍射效应而设计的光学元件,核心是对光的相位进行调制,需要高分辨率的相位测量。
MetronLens 超构透镜光学检测系统 在以上领域的应用得益于如下几个创新点:
1 毫秒级相位检测:MetronLens 基于“微型透镜检测系统及其检测方法”发明专利和离轴外差干涉技术,在显微体系下实现了毫秒级相位分布检测,相位分辨率可达 50mrad;
2 高空间分辨率:采用优异光学设计,结合大NA(大于 0.75)高倍率的成像系统和高像素数探测器,确保大视场下空间分辨率可达 0.6μm;
3 高精度 z 轴扫描:配有三轴全闭环超高精度电控位移台,能够轻松实现 0~22mm 行程的光场扫描,z轴扫描定位精度最小可达到 ±1μm;
4 多波长测试光源:系统内部最多可集成 457nm、532nm、660nm 三种连续激光光源,可满足多样化的波段测试需求,并支持其他光源外部扩展。

